Schaeffler Nederland

 
 
 
 
 
 
OVERIGE INFORMATIE

Productcatalogus met selectie- en adviessysteem medias

RollenomloopeenhedenKUVE (kogelomloopeenheden)
 
CONTACT
Toepassingen

Lithografie

Uiterst precieze lineairgeleidingen voor coördinatentafels

Om structuren op de chips aan te brengen worden deze van een bijzonder gevoelige fotolak voorzien. Deze fotolak wordt door een masker heen belicht en op de plaatsen waar er licht is, aangetast.

Bij de 'next generation' halfgeleiderproductie worden structuurgroottes van minder dan 60 nm nagestreefd, om zo te komen tot een hoger opslagvermogen en hogere schakelsnelheden.

Coördinatentafels die aangedreven worden door een lineairmotor zorgen voor de beweging van het substraat en het projectiemasker. De basisprincipes van de machine creëren een stabiele, zwenkarme granieten structuur en een uiterst precieze geleiding, bijv. de rollenomloopeenheid RUE van INA. Deze uiterst geruisloze geleiding onderscheidt zich door een gelijkmatige loop- en schuifweerstand, tegenover een hoge reproduceerbaarheid en positioneringsprecisie.